皂膜气体流量标准装置可根据不同的测量量程选择适合的测量通道,大大提高气体流量的测量范围及测量精度,测量通道切换简便。
MFM330 气体质量流量计结构包含毛细管柱式流量传感器、旁路分流系统、高精度比例阀和控制系统。
MFC330-05S 气体质量流量控制器结构包含毛细管柱式流量传感器、旁路分流系统、高精度比例阀和控制系统。
MFC330-05E 气体质量流量控制器结构包含毛细管柱式流量传感器、旁路分流系统、高精度比例阀和控制系统。
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